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高純金屬鑄錠的制造方法

1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:05
本發明涉及真空冶金技術領域，具體涉及一種重量純度超過99.99%的高純金屬鑄錠的制造方法。一種高純金屬鑄錠的制造方法，其特征在于其具體工藝過程為：（1）將重量純度≥99.99%的金屬原料進行備料、裝爐、抽真空；（2）電子束對金屬原料進行加熱融化，得到金屬熔體；（3）經步驟（2）融化后得到的金屬熔體進入采用電磁感應加熱方式的水冷坩堝中繼續進行熔煉，實現除雜、除氣；（4）經步驟（3）得到的熔體進入水冷結晶器，成型得到高純金屬鑄錠。本發明方法能夠充分控制鑄錠中雜質及氣體含量，所制備的高純金屬鑄錠，具有純度高，鑄錠物理性好、成材率高、產品規格多樣化等優點，滿足集成電路等對于高端薄膜制備的性能要求。
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“高純金屬鑄錠的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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