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高阻靶材制造方法

897   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:05
本發明涉及一種高阻靶材制造方法，屬于電子材料與冶金技術領域。用于制備金屬膜電阻器所需的靶材。該方法包括原料配比、熔煉、制粉、熱壓成型和機加工過程。其優點是：所制造的靶材晶粒尺寸細小、大小分布均勻、致密度高、外部無裂紋、內部無孔隙，能夠有效提升金屬膜電阻器的質量和薄膜沉積速率；本發明方法制造靶材成品率高，易于規?；a。
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“高阻靶材制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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