權利要求
1.一種釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法,其特征在于,包括:
按釓:鋇:銅:鋰的摩爾比為1:2:(3-X):X,0.001≤X≤0.05,將乙酸釓、乙酸鋇、乙酸銅和乙酸鋰溶解于丙酸中,獲得前驅溶液;
向所述前驅溶液中添加高分子化合物,攪拌溶解后獲得涂層溶液;
將所述涂層溶液涂覆于基片上,每涂覆一層后對所述涂層溶液進(jìn)行干燥和熱解,得到一層非晶膜;重復進(jìn)行涂覆、干燥和熱解,直到基片上非晶膜的總厚度達到目標厚度;
將覆有非晶膜的基片置于多溫區管式爐中,在干燥的惰氣/氮氣和氧氣混合氣氛下,從室溫以15-25℃/min的升溫速度升至爐膛中心溫度為800-850℃,同時(shí)控制氧分壓為20-200ppm;爐膛中每差10℃為一個(gè)溫區,共5個(gè)溫區,讓基片從800-810℃的溫區逐漸向830-840℃的溫區移動(dòng),并在每個(gè)溫區燒結8-15min,再移動(dòng)至840-850℃的溫區燒結15-30min,得到織構的釓鋇銅氧高溫超導膜;
將所述織構的釓鋇銅氧高溫超導膜進(jìn)行滲氧熱處理,得到具有正交晶體結構的釓鋇銅氧高溫超導膜。
2.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法,其特征在于,所述高分子化合物為聚乙烯醇縮丁醛。
3.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法,其特征在于,所述熱解包括:
將基片從室溫升至100-150℃,保溫10-20min;然后通入氧氣和水蒸汽,再以5-15℃/min的升溫速度升溫至450-500℃,保溫0.5-2小時(shí);隨后在干燥的氧氣氣氛中,自然冷卻至室溫。
4.根據權利要求3所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法,其特征在于,所述水蒸汽的露點(diǎn)為10-20℃。
5.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法,其特征在于,所述滲氧熱處理包括:將所述織構的釓鋇銅氧厚膜在350-500℃干燥的氧氣氣氛中保溫2-5小時(shí),然后冷卻至室溫。
6.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法,其特征在于,所述目標厚度為1-2μm。
7.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法,其特征在于,所述對所述涂層溶液進(jìn)行干燥包括:將基片在75-85℃下干燥10-15min。
聲明:
“釓鋇銅氧高溫超導膜及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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