釓鋇銅氧高溫超導膜及其制備方法

權利要求 1.一種釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法，其特征在于，包括： 按釓:鋇:銅：鋰的摩爾比為1:2:(3-X):X，0.001≤X≤0.05,將乙酸釓、乙酸鋇、乙酸銅和乙酸鋰溶解于丙酸中，獲得前驅溶液; 向所述前驅溶液中添加高分子化合物，攪拌溶解后獲得涂層溶液; 將所述涂層溶液涂覆于基片上，每涂覆一層后對所述涂層溶液進(jìn)行干燥和熱解，得到一層非晶膜;重復進(jìn)行涂覆、干燥和熱解，直到基片上非晶膜的總厚度達到目標厚度; 將覆有非晶膜的基片置于多溫區管式爐中，在干燥的惰氣/氮氣和氧氣混合氣氛下，從室溫以15-25℃/min的升溫速度升至爐膛中心溫度為800-850℃，同時(shí)控制氧分壓為20-200ppm;爐膛中每差10℃為一個(gè)溫區，共5個(gè)溫區，讓基片從800-810℃的溫區逐漸向830-840℃的溫區移動(dòng)，并在每個(gè)溫區燒結8-15min，再移動(dòng)至840-850℃的溫區燒結15-30min，得到織構的釓鋇銅氧高溫超導膜; 將所述織構的釓鋇銅氧高溫超導膜進(jìn)行滲氧熱處理，得到具有正交晶體結構的釓鋇銅氧高溫超導膜。 2.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法，其特征在于，所述高分子化合物為聚乙烯醇縮丁醛。 3.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法，其特征在于，所述熱解包括： 將基片從室溫升至100-150℃，保溫10-20min;然后通入氧氣和水蒸汽，再以5-15℃/min的升溫速度升溫至450-500℃，保溫0.5-2小時(shí);隨后在干燥的氧氣氣氛中，自然冷卻至室溫。 4.根據權利要求3所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法，其特征在于，所述水蒸汽的露點(diǎn)為10-20℃。 5.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法，其特征在于，所述滲氧熱處理包括：將所述織構的釓鋇銅氧厚膜在350-500℃干燥的氧氣氣氛中保溫2-5小時(shí)，然后冷卻至室溫。 6.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法，其特征在于，所述目標厚度為1-2μm。 7.根據權利要求1所述的釓鋇銅氧高溫超導膜的制備方法，其特征在于，所述對所述涂層溶液進(jìn)行干燥包括：將基片在75-85℃下干燥10-15min。