權利要求
1.一種基于鎵鋁砷外延合金，其特征在于，包括：
鎵鋁砷外延層(100);
第一氧化層(200)，所述第一氧化層(200)設置在所述鎵鋁砷外延層(100)的上方，所述第一氧化層(200)包括多個經一次光刻形成的第一窗口(210)和第一凸塊(220)，所述第一窗口(210)與所述第一凸塊(220)間隔分布;
第一金屬層(300)，所述第一金屬層(300)設置在所述第一氧化層(200)的上方;
第二氧化層(400)，所述第二氧化層(400)設置在所述第一金屬層(300)的上方，所述第二氧化層(400)包括多個經二次光刻形成的第二窗口(410)和第二凸塊(420)，所述第二窗口(410)與所述第二凸塊(420)間隔分布，所述第一窗口(210)與所述第二窗口(410)的垂直方向上錯位排列;
第二金屬層(500)，所述第二金屬層(500)設置在所述第一氧化層(200)的上方。
2.根據權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金，其特征在于，
所述第一氧化層(200)的材料為二氧化硅，所述第一氧化層(200)的厚度為1000-2800埃米。
3.根據權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金，其特征在于，
所述第一金屬層(300)包括金鈹合金和金，金鈹合金和金依次通過蒸鍍的方式層疊在所述第一氧化層(200)的上方。
4.根據權利要求3所述的基于鎵鋁砷外延合金，其特征在于，
所述第一金屬層(300)中金鈹合金的厚度為100-800埃米，所述第一金屬層(300)中金厚度為3000-8000埃米。
5.根據權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金，其特征在于，
所述第二氧化層(400)的材料為二氧化硅，所述第二氧化層(400)的厚度為1500-3500埃米。
6.根據權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金，其特征在于，
所述第二金屬層(500)包括鈦和金，鈦和金依次通過蒸鍍的方式層疊在所述第二氧化層(400)的上方。
7.根據權利要求6所述的基于鎵鋁砷外延合金，其特征在于，
所述第二金屬層(500)中鈦的厚度為100-500埃米，所述第二金屬層(500)
聲明：
“基于鎵鋁砷外延合金及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：深圳市奧倫德元器件有限公司
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2025年07月23日 ~ 26日 
