boe廢液制備氟化氫的方法及裝置技術領域1.本發明涉及廢液再利用領域，特別是指一種boe廢液制備氟化氫的方法及裝置。背景技術：2.boe(buffered oxide etch)，緩沖氧化物蝕刻液，簡稱“緩沖蝕刻液”。由氫氟酸(hf)與氟化銨(nh4f)依不同比例混合而成。用于半導體元件(例如芯片)的蝕刻，hf主要起蝕刻反應作用，nh4f則作為緩沖劑使用；hf與硅反應，nh4f固定h+的濃度，使之保持一定的蝕刻率。3.各工廠的boe配比并不完全相同。6：1的boe緩沖蝕刻液即表示49％hf水溶液與40％nh4f水溶液按照體積比1：6的成分混合而成，hf和nh4f混合后，部分形成氟化氫銨(nh4hf2)。正常情況下，對半導體元件的刻蝕速度約為10nm/sec。4.當boe蝕刻液使用一定時間后，就作為廢液排出，成為boe廢液。5.boe廢液主要成分為氟化銨(nh4f)和氟化氫銨(nh4hf2)，同時含有少量的氟硅酸銨；屬于危廢！大部分半導體工廠委托有資質的危廢處置單位進行無害化處理，即：通過加入石灰或消石灰，反應成氟化鈣和氨水；有條件的處置單位會回收氨水，氟化鈣成為污泥，作無害化填埋。這種處置方式成本高、污染大、污泥處置費用高，關鍵是資源沒有得到有效利用，是一種得不償失的方法。6.氟化氫(hydrogen fluoride)，化學分子式為hf，分子量20.01，易溶于水、乙醇。無水氟化氫(簡稱ahf)低溫或壓力下為無色透明液體，沸點19.4℃，熔點-83.37℃，密度1.008g/cm3(水＝1)。在室溫和常溫下極易揮發成白色煙霧。它的化學性質極活潑，能與堿、金屬、氧化物以及硅酸鹽等反應。氟化氫是現代氟化工的基礎，是制取元素氟、各種氟致冷劑、含氟新材料、無機氟化鹽、各種有機氟化物等的最基本原料。氟化氫與水可以在任何質量比例混合，成為氫氟酸(簡稱hf)。7.氟化氫或氫氟酸是生產boe蝕刻液的原料，如果boe廢液能重新回到氟化氫或氫氟酸的狀態，其有效資源可得到全面的循環利用！不僅解決半導體行業的廢液出路問題，更是利國利民的好事。8.因此，有必要研發一種boe廢液制備氟化氫的方法，使boe廢液的有效資源得到全面的回收利用。技術實現要素：9.本發明提出一種boe廢液制備氟化氫的方法及裝置，解決了現有技術中boe廢液后處理的問題。10.本發明的技術方案是這樣實現的：11.一種bo
聲明：
“BOE廢液制備氟化氫的方法及裝置與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：浙江容躍環?？萍加邢薰?nbsp;
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2025年07月11日 ~ 13日 
