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離子束清洗設備

1216   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 03:45:25
本申請提供一種離子束清洗設備，包括：離子室，用于提供真空環境；陰極離子源，用于提供電子，與離子室連通，陽極裝置，設置于離子室內，陽極裝置與陰極離子源構成電場區域；治具組件，設置于離子室內并位于電場區域中，用于承載工件，治具組件包括連接件、第一磁鐵和第二磁鐵，第一磁鐵和第二磁鐵相對設置且均套設于連接件，以形成磁場區域，工件套設于連接件并位于第一磁鐵和第二磁鐵之間，且設置于磁場區域內，連接件與一外部電源的負極電連接，用于牽引電場區域內的正離子至磁場區域內的工件的表面，以清洗工件。該離子束清洗設備，代替傳統的化學去膜層方案，避免化學廢液的產生及排放，降低廢水處理成本，節省成本，同時保護環境。
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聲明：
“離子束清洗設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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