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多晶堿法制絨方法

945   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 03:43:23
本發明的目的在于公開一種多晶堿法制絨方法,它包括如下步驟:(a)對多晶硅片進行預清洗并烘干;(b)將預清洗烘干的多晶硅片放入注入有鑄膜液的鑄膜槽中進行涂覆;(c)將涂覆有鑄膜液的多晶硅片放入通風箱中,使多晶硅片的表面形成一層多孔固膜;(d)將表面具有多孔固膜的多晶硅片放入注入有制絨液的制絨槽中進行制絨,當多孔固膜完全剝離多晶硅片表面時取出既得較好的微孔多晶絨面;與現有技術相比,多晶硅片能夠在制絨液中制取得到現行酸法工藝才能得到的多孔絨面,多晶硅片表觀更黑,反射率能達到15%-20%,且與現行單晶工藝相匹配,大大減小后續廢水處理難度,減小環境污染,實現本發明的目的。
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