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減薄劃片廢水的回用工藝和系統

1013   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 01:05:19
本發明利用膜分離技術處理硅片減薄劃片廢水,將廢水中的單晶硅濃縮回收,其中膜透過液作為混床進水回用到生產工藝上。根據本發明的一種硅片減薄劃片廢水處理方法,包括先采用精密過濾器所述硅片減薄劃片廢水,再采用中空纖維超濾裝置進行處理,獲得超濾透過液和濃縮液,最后所述超濾透過液進行深度脫鹽處理的過程。減薄劃片廢水經過本發明回用處理,使水資源充分利用回收,節省了大量工業用水。
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