本實用新型涉及藍水晶襯底,尤其涉及一種復合藍水晶襯底基片及其制備方法。復合藍色水晶襯底基片,包括藍色水晶晶片(α-SiO2),在藍色水晶晶片(α-SiO2)表面復合設有一層硅酸鋰(γ-Li2SiO2)。本實用新型是利用氣相傳輸平衡方法制備而成的,該復合藍色水晶襯底基片(Li2SiO2/α-SiO2),克服了傳統的藍寶石襯底基片(Li2AlO2/α-Al2O3)價格高,硬度高,不易加工等缺點,劃片的成品率在90%左右。
聲明:
“復合藍色水晶襯底基片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)