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基于薄膜鍵合的可調諧FP濾光片的制備方法

1055   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:30:35
本發明屬于薄膜光譜濾波器制備工藝技術領域，具體涉及一種基于薄膜鍵合的可調諧FP濾光片的制備方法，包括以下步驟：①下金屬反射層制作：基底采用熱蒸發或離子束濺射鍍膜方法制備FP濾波器下金屬反射層；②鈮酸鋰薄膜通光層制備：采用離子注入、鍵合剝離方法制備；③上金屬反射層制備：采用磁控濺射的方法制備；④上金屬反射電極圖形化制備：采用光刻、離子束刻蝕工藝制作上金屬電極結構，完成可調諧FP濾光片制作。本發明方法克服了現有濾光片中心波長難以調諧的問題，且制作工藝簡單，易于調控，可實現線列、瓦片式多譜段濾光片。
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“基于薄膜鍵合的可調諧FP濾光片的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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