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高純氧化亞氮在制備太陽能電池片中的應用

1059   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:27:25
本發明涉及太陽能電池技術領域，公開了高純氧化亞氮在制備太陽能電池片中的應用，包括以下步驟：對氧化亞氮原料氣進行壓縮后，依次經活化后的13X?APG分子篩、4A分子篩、改性分子篩吸附除雜，獲得高純氧化亞氮；所述改性分子篩為負載有金屬氧化物的分子篩，所述金屬氧化物為氧化鈉、氧化鉀和氧化鋰中的一種或多種；硅片經預處理后，依次沉積SiOx膜和SixNy膜，制成太陽能電池硅片。本發明在氧化亞氮的純化過程中，通過在吸附除雜前對氧化亞氮原料氣進行壓縮，并依次采用三種分子篩對原料氣進行吸附除雜，將物理吸附與化學吸附相結合，能提高氧化亞氮的純度，用其對硅片進行PECVD鍍膜，能獲得性能更好的太陽能電池硅片。
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“高純氧化亞氮在制備太陽能電池片中的應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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