本發明公開了一種多層結構的復合柔性導電薄膜,其組成為氧化鈰與氮化鈦作為上下兩層,陶瓷增強金屬基復合導電材料作為中間夾層以及透明有機柔性襯底,采用磁控濺射工藝,依次濺射各薄膜層,制備得到多層結構的復合柔性導電薄膜。其中陶瓷增強金屬基復合導電材料的制備為:將分散劑、粘結劑與碲化鎘粉體、羥基磷灰石晶須混合均勻,球磨,制得陶瓷漿料;將陶瓷漿料置于模具中,在低溫浴中進行定向凝固,得到冷凍陶瓷坯體,脫模,放入冷凍干燥儀中干燥,進行燒結,得到陶瓷材料;將鋰鎂合金塊置于陶瓷材料上,一起放入高溫爐中,高溫燒結,冷卻至室溫,制備得到陶瓷增強金屬基復合導電材料。
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