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飛秒激光刻蝕波導光柵的制備裝置及方法

915   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:26:04
本發明公開了一種飛秒激光刻蝕波導光柵的制備裝置及方法，該裝置由飛秒激光器、光偏振器、分光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、顯微物鏡、鈮酸鋰晶體、精密旋轉平臺、三維電動平移臺、光功率計和計算機依次連接而成。本發明解決如何控制激光條件，并能達到使用一個飛秒激光光源、僅一套加工設備來同時實現光波導以及光柵的制備。
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聲明：
“飛秒激光刻蝕波導光柵的制備裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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加工技術
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