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低電阻層狀結構正交相MoO3-x薄膜的制備方法

839   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:25:34
一種低電阻層狀結構正交相MoO3?x薄膜的制備方法，包括如下步驟：步驟1：利用真空蒸發法在襯底上形成薄膜；步驟2：將所述薄膜在大氣氣氛中進行第一步熱處理；以及步驟3：將所述薄膜在氮氣氣氛中進行第二步熱處理，完成制備。本發明具有制造工藝簡便等優點；該方法是采用真空蒸發法制膜并加以兩步熱處理，可以獲得既具有層狀結構又具有較低電阻率的α?MoO3?x薄膜材料；該材料可廣泛地應用于雙電層電容器、鋰離子電池、有機光電二極管、薄膜太陽能電池等光電子器件。
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