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脊形波導制作方法

1154   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:15:03
本發明涉及一種脊形波導制作方法，包括以下步驟：將晶片切割成特定尺寸的晶體；晶片為周期極化鈮酸鋰晶片；在晶體上切割出寬度為W，深度為H的波導；切割后的晶體包括波導和底座；將基底切割成特定尺寸，在基底上切割出寬度大于W，深度大于H的凹槽；膠合基底和晶體，得到脊形波導，膠合時，波導位于凹槽中；對底座進行拋光減薄，形成薄層；對脊形波導的端面進行拋光再鍍膜。本發明通過一個凹槽保護脊形波導，然后反面拋光減薄，從而形成薄膜脊形波導。避免了離子注入建和帶來的結構損傷等問題。
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聲明：
“脊形波導制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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