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利用摻雜硅顆粒制備納米多孔硅的方法

859   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:08:19
本發明公開了一種利用摻雜硅顆粒制備納米多孔硅的方法，該方法包括選用一定摻雜濃度的硅顆粒，氫氟酸清洗后，選用硝酸鹽、氫氟酸、氧化劑配制的溶液反應并進行超聲輔助，再經離心清洗，最后通過稀硝酸清洗等后處理制備的三維納米多孔硅。本發明通過大量實驗篩選出，最佳的化學刻蝕腐蝕劑的組成，反應試劑的體積比和具體濃度，反應時間、反應溫度、超聲頻率及處理時間具體的反應步驟等最佳工藝參數，制備得到的高純度的三維摻雜多孔硅，孔形規則，布置均勻，可應用于鋰電池、太陽能電池、半導體、傳感器等領域。本發明整個工藝可操作性強，成本低廉，并且產量高，適合于工業化大生產。
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“利用摻雜硅顆粒制備納米多孔硅的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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