本發明公開了一種復合型磷酸鹽涂層配方,用磷酸鋁、磷酸鋅、磷酸鋰按照一定比例在低濃度的磷酸中混合反應制備而成涂層溶液,然后用此溶液對石墨夾具進行一定時間的浸泡烘干,就可在石墨夾具的表層形成一層均勻的磷酸鹽涂層。本發明制備的復合型磷酸鹽涂層,既能保證石墨夾具在600℃范圍內具有良好的穩定性,也不會在氫氟酸溶液中腐蝕消耗掉,并且不會破壞石墨夾具的導電性能,實現了對石墨夾具有效良好保護。
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