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集成光波導三維電場傳感器

845   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:40:21
本發明涉及集成光波導三維電場傳感器，屬電場測量領域。本發明包括集成光波導一維電場傳感器：在一片鈮酸鋰晶片表面使用質子交換方法制作一個兩端為Y形光波導，中間為平行光波導構成的M?Z光波導干涉儀，在中間某一直波導臂兩側制作兩片與直波導平行的金屬電極，并制作與金屬電極垂直相連接的金屬偶極子天線；集成光波導二維電場傳感器：通過在一片鈮酸鋰晶片表面采用質子交換方法形成一個Y形光波導，其中Y形光波導的兩個波導臂為兩個M?Z光波導結構；在這兩個M?Z光波導干涉儀的直波導臂兩側制作金屬電極和天線，并且使制作在兩個M?Z光波導干涉儀上的天線互相垂直。本發明體積小、空間分辨率高、對被測電場的干擾小。
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聲明：
“集成光波導三維電場傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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