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體聲波諧振器的制造方法

1129   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:32:18
一種體聲波諧振器的制造方法，包括：提供用于形成壓電層的壓電襯底；在壓電襯底的用于形成壓電層的部分上形成第一電極結構；在第一電極結構上形成介電層，并對介電層進行圖案化工藝，以形成包括犧牲介電部和周邊介電部的圖案化的介電層；在圖案化的介電層上形成邊界層，邊界層覆蓋圖案化的介電層的表面且環繞犧牲介電部；在形成邊界層之后或在形成第一電極結構之前將壓電襯底薄化成壓電層，其中第一電極結構位于壓電層的第一側；在壓電層的第二側上形成第二電極結構；以及移除犧牲介電部，以形成諧振空腔。所述方法利用壓電襯底來形成壓電層，可使用鈮酸鋰晶體、鉭酸鋰晶體作為壓電材料，具有良好的壓電特性，進而可提高體聲波諧振器的帶寬。
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