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III族氮化物結晶的制造方法

961   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:16:35
本發明提供一種得到抑制裝置的腐蝕、并且抑制冷卻中的由基底基板對III族氮化物單晶的應力的III族氮化物單晶的III族氮化物結晶的制造方法。一種III族氮化物結晶的制造方法，其包括：(i)準備將藍寶石作為基底基板且在所述基底基板上設置有III族氮化物層的種基板的工序；(ii)在由鉭構成的盛具中準備鋰或鋰化合物的工序；(iii)使用III族元素與堿金屬的混合熔液，使III族氮化物結晶生長于設置于種基板的III族氮化物層的工序；和(iv)將鋰或鋰化合物投入混合熔液，使其與基底基板反應的工序。
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聲明：
“III族氮化物結晶的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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