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接合體及彈性波元件

780   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:15:14
本發明的課題是提供能夠在包含硅鋁氧氮陶瓷的支撐基板上牢固地接合包含鈮酸鋰或鉭酸鋰的壓電性材料層的微結構。本發明的解決手段是提供能夠在包含硅鋁氧氮陶瓷的支撐基板上牢固地接合包含鈮酸鋰或鉭酸鋰的壓電性材料層的微結構。接合體具備支撐基板及壓電性材料層。支撐基板包含硅鋁氧氮陶瓷。壓電性材料層的材質為LiAO3(A為選自由鈮及鉭構成的組中的一種以上元素)。接合體具備：沿著支撐基板與壓電性材料層之間的界面而存在的界面層及在界面層與支撐基板之間所存在的支撐基板側中間層。界面層及支撐基板側中間層分別以選自由鈮及鉭構成的組中的一種以上元素、氮、氧、鋁以及硅為主成分。
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