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多層薄膜調制周期及其均勻性的測量方法

866   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:11:36
本發明提供了一種多層薄膜調制周期及其均勻性的測量方法，是將氟化鋰粉末壓制成圓柱形靶塊，表面加工成凹錐形，得氟化鋰靶塊；將氟化鋰靶塊安裝至加速器的離子源的靶頭處，引出負鋰離子束流，充入氮氣，使鋰離子束在加速器管內經剝離氣體碰撞剝離后得到二價的Li2+正離子束；再將待測量的多層薄膜放置在盧瑟福背散射測量靶室中的樣品臺上，用束流積分儀測量Li2+束的束流，形成RBS譜，進而得出多層膜的調制周期及均勻性信息。本方法用RBS測量薄膜的調制周期、元素分布和均勻性，其測量精度高，并且對樣品沒有損傷，是一種高精度、高品質的無損檢測多層膜的方法。
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