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酰胺釓配合物的合成方法及其在制備高K材料前驅體的應用

936   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:05:34
本發明公開一系列酰胺類稀土金屬釓配合物的合成方法是在惰性氣體N2或者Ar2保護下,等摩爾量的酰胺配體與正丁基鋰在-78℃～0℃下,反應1～5小時,反應得到酰胺鋰鹽;三氯化釓和酰胺鋰(物質的量比為1∶3)在無水有機溶劑中,反應12～70小時后,將得到的澄清反應液抽干,經有機低極性溶劑萃取,過濾,濾液濃縮,冷凍結晶得到配合物。該類配合物具有揮發性好,活性高,合成簡單,產率高,成本低等優點,作為前驅體制備得到的高K材料薄膜致密和均勻,顆粒在20nm-40nm之間。
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