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收卷式成膜裝置和收卷式成膜方法

696   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:02:48
本發明提供一種收卷式成膜裝置，其具有真空容器、膜行進機構、鋰源以及第一輥。上述真空容器能夠維持減壓狀態。上述膜行進機構能夠在上述真空容器內使膜行進。上述鋰源能夠在上述真空容器內使鋰蒸發。上述第一輥被配置在上述膜的成膜面和上述鋰源之間。上述第一輥具有接收從上述鋰源蒸發的上述鋰的轉印圖案。上述第一輥一邊旋轉一邊將與上述轉印圖案對應的鋰層的圖案轉印到上述成膜面。
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