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基于氮化硅輔助的鈮酸鋰薄膜波導的全集成光學收發系統

1006   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:45:40
本發明提出了一種基于氮化硅輔助的鈮酸鋰薄膜波導的全集成光學收發系統，包括由多模波導相連的發送模塊和接收模塊；光學頻率梳激光源包括相連的片上單波長激光源和光頻梳器件；波長?模式調制模塊包括依次相連的波長解復用器、功分器組、電光調制器陣列和模式復用器；光頻梳器件與波長解復用器相連，模式復用器通過多模波導與波長?模式解復用模塊相連。該光學系統僅使用標準商業化的CMOS工藝就可以在同一塊芯片上實現多波長激光器、電光調制器、波長（解）復用器、模式（解）復用器、光電探測器等器件的全集成，大大降低了芯片的工藝難度和制作成本。大大擴展了系統的通信容量，成倍地提高了系統的處理速度。
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“基于氮化硅輔助的鈮酸鋰薄膜波導的全集成光學收發系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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