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非晶硅薄膜鋰電池

784   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:44:22
本發明公開了一種非晶硅薄膜鋰電池，包括機身以及設置在所述機身內的第一滑動腔，所述第一滑動腔內可左右滑動的設置有第一滑動塊，所述第一滑動塊前后對稱設置有左右貫穿的第一通孔，所述第一通孔內滑動設置左右延伸的第一光桿，所述第一光桿左右兩端固定安裝在所述第一滑動腔左右端壁內，所述第一滑動塊前后端壁內對稱設置有開口向外的第一空腔，所述第一空腔下底壁內固定安裝有齒條；本發明結構簡單，操作方便，通過采用機械結構與光學結構結合，自動進行非晶硅薄膜的刻蝕，不僅自動化程度高，而且不受非晶硅薄膜負面限制，能夠完成大批量大幅面高質量非晶硅薄膜刻蝕，提高了刻蝕效率與質量，提高了裝置實用性能。
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聲明：
“非晶硅薄膜鋰電池” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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