本發明公開了一種鉭酸鋰晶片黑化裝置及其使用方法。包括盛裝管,以及放置在盛裝管內部的晶片放置裝置,所述晶片放置裝置包括底板、蓋板以及設置在兩者之間的多個治具,所述晶片放置裝置通過底板水平放置在盛裝管內部,所述治具為環狀結構并且在其環狀結構的兩個端面均開設有通槽,多個治具重疊水平放置在底板上,且相鄰治具間的通槽交錯排列,所述蓋板靠近治具的一側還設置有重塊,所述重塊與治具內環匹配能夠嵌入治具內環。本發明提高了鉭酸鋰晶片黑化均勻性。
聲明:
“鉭酸鋰晶片黑化裝置及其使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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