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薄膜鈮酸鋰可調高線性電光調制器集成芯片

724   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:10:21
本發明公開了一種薄膜鈮酸鋰可調高線性電光調制器集成芯片，自下而上包括襯底層、掩埋氧化層、電光調制器件層和上包層；電光調制器件層由左至右依次包括輸入光波導、輸入分光耦合器、超線性調制區、馬赫增德爾相位調制區、輸出合路耦合器和輸出光波導。超線性調制區由一個或多個順次連接的薄膜鈮酸鋰脊形光波導可調諧振腔構成，可位于一條或兩條調制臂上，在諧振腔內的光波導兩側放置有可調節諧振腔工作狀態的第二信號電極和第三地電極。通過調節諧振腔的尺寸及加載在諧振腔波導兩側電極上的信號大小調整諧振腔的工作點，消除器件整體的三階非線性，從而實現具有高線性度的電光調制器集成芯片。
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“薄膜鈮酸鋰可調高線性電光調制器集成芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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