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鈮酸鋰晶體化學機械拋光液

937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:56:15
本發明提供一種鈮酸鋰晶體化學機械拋光液，屬于精密/超精密加工技術領域。鈮酸鋰化學機械拋光液的pH為9.5?10，包含溶質和溶劑兩部分。其中，溶劑為去離子水。按溶質總質量分數100％計，其各組分和質量百分比含量如下：10～20wt％硅溶膠，1～2wt％氫氧化鉀，0.02～0.05wt％表面活性劑，其余為pH調節劑，各物質在去離子水中通過超聲混合均勻。本發明提供的化學機械拋光液腐蝕作用適中，在保證拋光液化學作用前提下，能夠獲得超光滑、無損傷的鈮酸鋰表面；氧化石墨烯可以促使工件表層氧化并形成軟化層，加快工件表面的拋光效率，縮短拋光時間。
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“鈮酸鋰晶體化學機械拋光液” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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