本發明公開了一種在電致變色器件中富集鋰的方法,其特征在于,包括:將第一靶材以惰性氣體摻雜第一反應氣在第一導電層上進行反應濺射,形成電致變色層,沉積所述電致變色層時,使用含鋰靶材以所述惰性氣體摻雜第二反應氣,與所述電致變色層進行共沉積或交錯沉積;在所述電致變色層上形成離子傳導層;在所述離子傳導層上形成離子存儲層;在所述離子存儲層上形成第二導電層。本發明的技術效果在于:在電致變色層中形成局部鋰含量的高濃度,提升了電致變色器件的著色對比度和穩定性。
聲明:
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