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鈮酸鋰波導芯片

892   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:49:03
一種鈮酸鋰波導芯片，使用氫化非晶硅在鈮酸鋰基底上制備波導結構，利用非晶硅的高折射率可以有效減小波導尺寸，從而可以減小基于鈮酸鋰波導芯片的鈮酸鋰光調制器上金屬電極之間的間距，進而使得所需調制電壓較低。優選使用氫化非晶硅制作鈮酸鋰波導芯片，其Si：H鏈的存在能夠減小光學損耗?？梢酝ㄟ^調節氫化非晶硅的厚度在保證波導尺寸的前提下最大化器件的光電效應。通過控制二氧化硅的厚度以及金屬電極的厚度，能夠保證較好的射頻匹配，而與外界連接的光纖接口通過在穿過波導層的波導線實現，由于上述波導線都在波導層，能夠留足封裝或測試的金屬區域。
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