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大尺寸鉭酸鋰襯底片背面粗糙度的干式加工方法

1184   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:37:36
本發明公開了一種大尺寸鉭酸鋰襯底片背面粗糙度的干式加工方法，其特征在于，將經雙面研磨后的鉭酸鋰襯底片放入旋轉加工臺的工件位中，利用噴射處理裝置將磨料粉末噴射到鉭酸鋰襯底片的加工面上以達到所需的粗糙度。本發明特別適用于≥4英寸的鉭酸鋰襯底片的背面粗糙度的加工，其優勢在于：一是相對于傳統的只是通過雙面研磨加工粗糙度的工藝，具有面內粗糙度偏差小、穩定性高的特點；二是可以有效的避免因為雙面研磨而產生的背面不良問題；三是在前道的雙面研磨過程中，可以使用3μm～50μm的磨料細粉加工，這樣可以減少后續的減薄和拋光的去除量，從而提高加工效率和降低加工成本。
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聲明：
“大尺寸鉭酸鋰襯底片背面粗糙度的干式加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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