本發明提供了一種鋰離子電池硅基合金薄膜的制備方法,屬于鋰離子電池技術領域。本發明提供的制備方法,包括以下步驟:在真空和惰性氣體條件下,開啟硅靶材和金屬靶材,對擋板進行預濺射;預濺射結束后,對基片進行濺射,得到鋰離子電池硅基合金薄膜。本發明采用預濺射,能夠避免將靶材表面可能存在的部分氧化物或污染物濺射到基片上,保證了硅基合金對基片的結合力及電化學性能;金屬靶材和硅靶材同時濺射沉積到基片上,保證了硅基合金薄膜的均勻性,能夠緩解硅的體積效應。
聲明:
“鋰離子電池硅基合金薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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