本發明提出的用于全固態薄膜鋰離子電池的氧化鎳陽極薄膜的制備方法,是采用真空蒸鍍方法在基片上沉積NI薄膜,然后結合氧離子發生器輔助的熱氧化方法制備氧化鎳(NIO)薄膜材料。本發明提出的用于全固態薄膜鋰離子電池的氧化鎳陽極薄膜的制備方法氧化溫度低,成本低,工藝、設備簡單,沉積速率高于傳統方法,易于獲得顆粒尺寸分布均勻、結構完整的納米晶NIO薄膜,具有良好的電化學性能,可作為全固態薄膜鋰離子電池的陽極材料。
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“用于全固態薄膜鋰離子電池的氧化鎳陽極薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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