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鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導相位調制器

1206   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:22:01
本發明公開了一種鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導相位調制器，包括雙Y分支光波導相位調制器芯片，所述雙Y分支光波導相位調制器芯片包括襯底、二氧化硅層、光波導層和保護層，所述保護層上設有調制電極；所述光波導層包括鈮酸鋰薄膜層和鈮酸鋰脊形光波導，所述鈮酸鋰脊形光波導形成雙Y分支光波導結構，兩個所述Y分支光波導通過基波導連接，所述基波導的兩側設有輻射區。本發明中，在基波導的兩側設置輻射區，有效消除了輻射模在光路中耦合形成的串擾和噪聲問題。另外，基波導采用直線結構，無需進行彎曲波導設計，因而能夠使光波導的雙Y分支結構以及基波導區域的尺寸大大減小，進而實現雙Y分支光波導相位調制器的小型化。
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聲明：
“鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導相位調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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