本發明公開了紫外感光鈮酸鋰溶膠的制備方法,以Nb(CH3CH2O)5、CH3COOLi·2H2O、苯酰丙酮、無水乙醇、丙烯酸按一定的摩爾比例制成,隨后添加無水乙醇調節至金屬總離子濃度為0.3~0.5mol/L,即可得到感光LiNbO3溶膠;本發明還公開了使用紫外感光鈮酸鋰溶膠制備薄膜微細圖形的方法,利用感光LiNbO3溶膠,通過浸漬提拉法在基板上制備凝膠薄膜,隨后依次經干燥、曝光、溶洗、熱處理,即得LiNbO3薄膜微細圖形。本發明采用紫外掩膜板法或激光干涉法直接在凝膠膜光刻,無需其他輔助工藝,即可制備大面積微細圖形;浸漬提拉法獲得紫外感光LiNbO3凝膠薄膜,薄膜厚度易控制,可獲得較大尺寸凝膠膜,制備的LiNbO3微細圖形線條光滑,結構規整,薄膜沒有污染,性能穩定。
聲明:
“紫外感光鈮酸鋰溶膠及其薄膜微細圖形的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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