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鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法

773   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 21:03:53
一種鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法,采用氟化物材料與待處理的鉭酸鋰晶體基片充分接觸,在非氧化性還原性氣氛中,在450℃~600℃對鉭酸鋰晶體基片進行還原熱處理,熱處理時間為5-24小時。本發明獲得的黑化鉭酸鋰晶體基片的體電阻率為109~1012Ωcm。本發明方法具有簡單可靠、易操作、獲得的鉭酸鋰晶體基片的電阻率的重復性好、成本低,適合批量生產的優點。
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