本發明公開了一種鋅-鋰合金材料及其制備方法,其中Li的含量為0.5-4.0%(質量)、Zn為余量,以及應用該合金生產用于集成電路硅片等離子濺射靶材的技術。該鋅-鋰合金的制備方法如下:按鋰含量高于所需要的配比10-20%稱重高純鋰、高純鋅;將鋅放入高純石墨坩堝,并將坩堝放入真空爐內,鋰用高純鋅箔包裹放入真空爐的加料斗內;抽真空;升溫至450~500℃使鋅熔化;充氬氣;加入高純鋰,在600~650℃精煉10~15分鐘;澆鑄,得到鋅-鋰合金材料。
聲明:
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