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鈮酸鋰晶圓的減薄方法

955   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:57:26
本發明公開了一種鈮酸鋰晶圓的減薄方法，屬于芯片封裝技術領域。本發明的鈮酸鋰晶圓的減薄方法，包括以下步驟：提供一鈮酸鋰晶圓，在鈮酸鋰晶圓的背面貼第一劃片膠膜，并沿鈮酸鋰晶圓正面的切割道進行預切割至預定深度；去除第一劃片膠膜，在鈮酸鋰晶圓的正面貼磨片膠膜，磨片膠膜為雙層膠膜；對鈮酸鋰晶圓的背面進行研磨至晶粒分離；在鈮酸鋰晶圓的背面貼第二劃片膠膜，再去除磨片膠膜。本發明實現了鈮酸鋰晶圓的研磨前切割工藝，避免了現有技術中鈮酸鋰晶圓在磨切加工時易出現脆性破壞、亞表面損傷層深和切割正背面崩裂大等損傷的現象，且芯片正背面崩裂均可以控制在10um以內，有利于保證鈮酸鋰芯片封裝產品的品質。
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