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鋰化壁處理抽氣系統的可再生式鋰蒸汽過濾系統

998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:46:47
本發明公開了一種鋰化壁處理抽氣系統的可再生式鋰蒸汽過濾系統，安裝在EAST鋰化壁處理抽氣分子泵與EAST裝置真空室之間，在EAST鋰化壁處理期間，含有鋰蒸汽等顆粒的氣體經過該過濾系統時會依次與四套傘狀障板系統碰撞而吸附在其上面，從而減小這些有害氣體分子達到分子泵的幾率，因而可以起到對分子泵的保護；該套過濾系統在使用一段時間后可以利用本身自帶的再生系統進行沖洗、烘烤、抽氣操作而再生，以便把障板系統及管道器壁上附著的鋰涂層等有害物質去除，方便后續繼續使用。該系統的成功研制可以最大程度上減小EAST鋰化過程中鋰蒸汽等有害氣體分子對分子泵的影響。
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聲明：
“鋰化壁處理抽氣系統的可再生式鋰蒸汽過濾系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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加工技術
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