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超薄基膜的連續式卷繞真空鍍膜方法

1151   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 20:32:58
本發明公開一種超薄基膜的連續式卷繞真空鍍膜方法,用于新能源動力電池領域中在柔性基膜上制備多層膜層,主要包括:(1)將基膜放置在真空鍍膜機的放卷室中的放卷輥上,關閉真空室,對真空室進行抽真空;(2)在真空環境中采用真空穿膜機構使基膜在卷繞系統上真空穿膜;(3)當真空鍍膜機的真空蒸發鍍膜室和磁控濺射鍍膜室中的真空度達到工藝要求時,啟動卷繞系統、蒸發裝置和磁控靶;磁控濺射鍍膜室豎直立式排布,真空蒸發鍍膜室呈層疊排布于磁控濺射鍍膜室的兩側;基膜走膜依次經過一側的真空蒸發鍍膜室、磁控濺射鍍膜室和另一側的真空蒸發鍍膜室,分別進行蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜,實現在基膜的兩面分別鍍制多層膜層。
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