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單晶硅生長爐加熱器節能支撐腳結構

995   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 18:00:54
本實用新型涉及坩堝法生長晶體爐子裝置的改進機構,一種單晶硅生長爐加熱器節能支撐腳結構,所述支撐腳為上、下兩段圓柱段組成,上段為石墨段(9a),且上表面開設軸向的定位銷孔,下段為絕熱段(9b),且下表面軸向開設金屬電極孔。所述上、下兩段之間以臺階結構連接。所述絕熱段的垂直中心剖面呈U字狀,外側近似L的為硬質支撐裹圈(9b1),中央為一圓柱形固化氈墊圈(9b2)。所述絕熱段(9b)采用氧化鋯、氧化鋁、氮化鋁、石英?；蛱荻让芏忍继紡秃喜牧?。采用本實用新型既不影響在原先位置的安裝,結構穩定、通用,支撐腳隔絕了加熱器通過支撐腳對外傳出的熱量,節約了設備運行需要的耗電量,節電達10%以上,經濟效益非常巨大。
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