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柔性壓力傳感器及其制備方法和應用

899   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:54:21
本發明公開了一種柔性壓力傳感器及其制備方法和應用，屬于傳感器技術領域。柔性壓力傳感器包括第一柔性保護膜、第一電極層、第一柔性微結構/微孔傳感基片、第二柔性微結構/微孔傳感基片、第二電極層和第二柔性保護膜；兩柔性微孔/微結構傳感基片表面上分布有微結構陣列、內部分布有微孔結構。柔性壓力傳感器的制備包括下述步驟：制備導電高分子復合材料；采用超臨界流體發泡技術制備柔性微孔/微結構傳感基片；將兩片柔性微孔/微結構傳感基片以微結構陣列面對面的方式貼合在一起后，夾在兩電極層之間，并用柔性保護膜粘貼在兩電極層的表面上，從而封裝成柔性壓力傳感器。本發明具有高靈敏度、寬檢測范圍以及高穩定性和耐久性等優點。
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