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基于納米粒子修飾的金剛石薄膜及其制備方法

1187   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:48:48
本發明公開了一種基于納米粒子修飾的金剛石薄膜及其制備方法。所述納米粒子修飾的金剛石薄膜以硅基材料、金屬材料或者復合材料為基底，在基底上表面濺射金屬Ni作為過渡層；在過渡層表面通過化學氣相沉積法，合理優化氫氣、氬氣和甲烷氣體的流量、氣體壓強、基底溫度、沉積時間，使膜基上的附著力增強。最后對制備的金剛石薄膜表面進行化學腐蝕，并涂覆納米二氧化鈦粒子，改善金剛石薄膜表面疏水性能和自清潔性能。本發明制備的金剛石薄膜可以，本發明制備的金剛石薄膜，可廣泛應用于機械、工模具、刀具、汽車、電子、光學、裝飾外觀保護，如手表外殼、首飾配件、手機外殼等領域。
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“基于納米粒子修飾的金剛石薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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