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用電子束物理氣相沉積制備納米多層高阻抗軟磁材料及其方法

1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:13:39
本發明涉及一種用電子束物理氣相沉積制備納米多層高阻抗軟磁材料的方法,它是在金屬、非金屬表面鍍上一層或一層以上的納米多層高阻抗軟磁材料,該軟磁材料由鐵系軟磁材料和陶瓷材料組成,其結構可以為一層鐵系軟磁材料層,一層陶瓷材料層,或一層鐵系軟磁材料層,一層鐵系軟磁材料層+陶瓷材料層的納米顆粒復合單層膜。通過控制各層的晶粒度、單軸各向異性以及層間距,可以獲得高飽和磁化強度及高電阻率的納米級復合多層軟磁材料。本發明制備的納米混合層復合材料適用于高頻交變磁場下工作的各種電子器件及其它用途的薄膜與涂層。
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