本發明公開了一種基于超聲聚集方法的納米氣體傳感器加工工藝,包括以下步驟:將納尺度材料懸濁液的液滴滴在設于超聲臺或光滑基板上的超聲針系統上;利用上述超聲針系統中的超聲物理效應在光滑基板或超聲臺上形成納尺度材料的聚集物;將納尺度材料的聚集物轉印至基板或柔性基底上;將高分子聚合物溶液滴到或噴射到納尺度材料的聚集物的表面,得到納米混合物液滴;將超聲振動板邊緣插入納米混合物液滴,在振動方向上前后移動超聲振動板,利用聲致流體分子間引力減小效應使得納米混合物液滴扁平化,形成納米復合材料膜;在納米復合材料膜上外接引線,得到氣體傳感器。本發明提供的氣體傳感器加工工藝具有簡單、綠色環保、適合于批量化生產等優點。
聲明:
“基于超聲聚集方法的納米氣體傳感器加工工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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