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具有圓柱各向異性熱導率的復合裝置

1068   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:53:49
提供了一種用于在加工室中支撐基底和調節該基底表面溫度的設備及其制造方法。該設備包括基座，其具有用于支撐所述基底的表面，和用于加熱該基底的加熱器，并且該加熱器緊鄰該基座布置。該基座是由復合材料制成的，其包含植入基質中的多個導熱弓形元件，該多個導熱弓形元件的每個是同心排列的，并且在徑向上限定了預定的間隔，以使得所述復合材料在該基座的圓柱坐標系中，在徑向(ρ)，方位角和軸向(z)方向上提供各向異性熱導率。
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“具有圓柱各向異性熱導率的復合裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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