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電熱法快速CVD制備C/C復合材料的沉積設備

1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:40:01
本實用新型提供一種電熱法快速CVD制備C/C復合材料的沉積設備，其包括用石英玻璃管制成的反應室，設置在反應室兩端內側的用于固定的法蘭，設置在同一端兩法蘭之間用于密封的密封圈，設置在反應室兩端用于向反應室內提供反應氣體的入口及出口，該入口和出口同時用于接入加熱電極；設置在反應室下方用于通電加熱的直流穩壓穩流電源。本實用新型采用石英玻璃做反應室，可以保證在沉積過程中，隨時觀察沉積情況，隨時終止沉積過程，加熱速度快，大大縮短了沉積時間，提高了沉積效率，也可隨時調節沉積溫度，無需水冷系統，簡化了設備，降低了成本。
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