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改進式的復合材料氣相沉積爐結構

1165   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:38:02
本實用新型涉及氣相沉積爐技術領域，尤其涉及改進式的復合材料氣相沉積爐結構，包括爐體，所述爐體的內側下半部設置有加熱室、上半部設置有沉積室，且加熱室與沉積室之間通過通道保持連通，所述爐體的頂部通口處設置有對開式的密封蓋，在兩邊的密封蓋的底部對應位置處分別鉸接有活動臂，活動臂的下端均通過連接桿連接有框架，框架沿沉積室的內壁上下滑動，框架內轉動連接有安裝板，安裝板的板面上設置有吸附晶圓片用的吸盤，本實用新型解決了氣相沉積后的晶圓不方便拿取的問題，本沉積爐的提出，可升降式的框架方便，配合設置在框架內側可旋轉的安裝板設計可以方便人們快速地放置或者拿取晶圓，操作便捷，有利于提升工作效率。
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