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超細碳-氮-硅復合材料氣相合成新工藝

938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:21:02
本發明是一種制備超細碳氨硅復合材料的氣相合成新工藝，工藝中采取直流等離子弧為熱源的密閉反應器中完成，所采用的原料為三氣甲基硅烷和液氨，兩者按1.4-1.8：1的比例（液態重量比）注入反應器，并借助自由沉降過程中淬冷直接復合成固態微粉，反應借助調?控等離子體發生器輸出功率和N2、H2比例穩定，保持反應溫度在llOOt-isoot之間，經洋冷細化的微粉經加熱后處理去除氣化物雜質生成超細Si-N-C納米級復?合材料。
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“超細碳-氮-硅復合材料氣相合成新工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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